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鉅亨網記者蔡宗憲 台北半導體設備商應用材料( (US-AMAT) )宣佈,已接獲來自中國大陸西安隆基矽材料(簡稱隆基) (CN-601012) 訂購Vericell太陽能矽晶圓檢測系統訂單,隆基做為全球單晶矽太陽能晶圓製造廠,將運用Vericell系統能力,以更節省成本的方式檢測與追蹤進出矽晶圓品質,提升高效太陽能矽晶圓生產的總體良率。

應材副總裁暨全球服務設備產品事業群總經理沃納.芬斯特布許(Werner Finsterbusch)表示,隆基採用極具競爭力的評估流程,選定應材的Vericell系統,進一步證明該

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設備的尖端檢測能力,Vericell機台提供技術與經濟優勢,繼續鞏固隆基的地位。

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應材指出,Vericell系統多樣化整合檢測模組在生產中可自動評估每片矽晶圓,能在生產時發現並剔除有缺陷的矽晶圓,除缺陷偵測之外,機台還能測量及回報一系列參數,包括矽晶圓片的厚度、厚度變化、翹曲、線痕、邊緣缺口、污點、隱裂以及電阻率。

Vericell系統已在大規模量產,並證明進入矽晶圓的缺陷與最終晶圓片的破損具直接相關性,相較人工檢測,Vericell系統透過控制矽晶圓品質,盡可能降低破片的風險與成本,增加工廠更高效電池的產量,提高獲利能力。

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